料 号:0041-47682/0041-34856
规格说明
规 格:6"/8"
材 料:AL6061、PI、PEEK、AL2O3、ALN
功能检测:吸力测试、绝缘电阻测试、氦气检测、水压测试、平面度检测、降温速率测试
应用机台:LAM/AMAT:CVD、PVD
关键工艺:阳极氧化、真空钎焊、Bonding
电子束焊接、电极刷镀、CMP、
RPS清洁、飞秒激光加工
料 号:0041-47682/0041-34856
0040-31815/0040-99380
0090-35135/0040-99959
0041-34688/77771/33300
518-600067-1021-A

图一：0041-33300 0041-99957 0041-77771
          EP ESC ASSY 195MM SEMI NOTCH,STD,DPS
图二：0041-34688
          MX+ EP ESC ASSY 200MM NOTCH, 1 MIL
图三：0041-47682 0041-34856
          MX+ EP ESC ASSY 200MM NOTCH, 1 MIL
图四：0090-35135 0040-99959 （0041-34854）
          SHELL ASSY.145MM SEMI MAJOR FLAT DPS CHAMBER
图五：0040-31815 0040-99380
          SHELL ASSY, 200MM, NOTCH (2), MONO, SOLID, 5MIC, INBD, XT FING.