料 号：0041-33505
规格说明
规 格：12"
材 料：AL6061-SQ、SUS304、AL2O3、AL1050、蓝宝石
功能检测：氦气泄露检测、温度均一性检测、降温速率检测、水压测试、平面度测试
应用机台：AMAT：CVD、PRECLEAN(SICONI)
关键工艺：真空钎焊、冷却流道热仿真、CMP、化学清洗
料 号：
0040-98491
0010-79293  0042-19715

0011-000062-0040-98491-冷却盘

0011-000058 0042-19715